[实用新型]一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门有效
| 申请号： | 201720345561.4 | 申请日： | 2017-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN206599608U | 公开（公告）日： | 2017-10-31 |
| 发明（设计）人： | 张玉西 | 申请（专利权）人： | 深圳市宏基真空镀膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，包括真空镀膜机、安装口、拼装门和紧固件，所述真空镀膜机内置有工件转架，所述安装口位于真空系统上方，所述拼装门通过第一滑轨和第二滑轨固定在安装口，所述第一滑轨和第二滑轨分别连接在门框的上边缘和下边缘，所述紧固件通过铰链固定在真空镀膜机外侧，且紧固件与拼装门接触端设有密封垫片。本实用新型通过在真空镀膜机外端的位置开出一个安装口，将弧源内嵌于拼装门上，再将拼装门安装在这个空位上，便于快速更换，可以达到多用途使用镀膜装置，且第一滑轨、第二滑轨和限位块与拼装门的接触面均设有密封圈，提高密封性，结构合理，适合广泛推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装有 真空镀膜 拼装 | ||
【主权项】：
一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，包括真空镀膜机(1)、安装口(6)、拼装门(10)和紧固件(15)，其特征在于：所述真空镀膜机(1)内置有工件转架(3)，所述工件转架(3)一侧安装真空系统(12)，所述安装口(6)位于真空系统(12)上方，且安装口(6)内壁固定连接有门框(17)，所述门框(17)一侧设置有限位块(9)，且门框(17)上方设有弧源电源(4)和靶材电源(8)，所述拼装门(10)通过第一滑轨(5)和第二滑轨(7)固定在安装口(6)，所述第一滑轨(5)和第二滑轨(7)分别连接在门框(17)的上边缘和下边缘，所述拼装门(10)内侧安装有加热源(13)，且拼装门(10)上固定连接有弧源(11)，所述弧源(11)下方设有偏压电源接口(2)，所述紧固件(15)通过铰链(16)固定在真空镀膜机(1)外侧，且紧固件(15)与拼装门(10)接触端设有密封垫片(14)。
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