[实用新型]一种拆解单晶的拆分机械手有效

专利信息
申请号: 201720348980.3 申请日: 2017-04-05
公开(公告)号: CN207290130U 公开(公告)日: 2018-05-01
发明(设计)人: 靳立辉;张学强;崔振强;王国瑞;陈志达 申请(专利权)人: 天津中环半导体股份有限公司
主分类号: B25J15/00 分类号: B25J15/00;B23P19/02
代理公司: 天津滨海科纬知识产权代理有限公司12211 代理人: 李纳
地址: 300384 天津市滨海新区高新区*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型创造提供了一种拆解单晶的拆分机械手,包括架体、水平移动机构及升降抓取机构,所述的拆分机械手的手爪可以在横、纵、竖直三个方向上进行移动,同时手爪设有在横、纵两个方向上可自由伸缩的夹爪,能够精确稳固的抓取粘接有单晶的工装,受力更加均匀,安全可靠的完成搬运及拆解工作,能够替代人工操作,生产效率高、自动化程度高、有效避免产品磕碰。
搜索关键词: 一种 拆解 拆分 机械手
【主权项】:
一种拆解单晶的拆分机械手,包括架体(1),其特征在于:还包括设于所述架体顶端的横向导轨(11)、设于所述横向导轨(11)上并可沿所述横向导轨(11)滑动的水平移动机构(2)及设于所述水平移动机构(2)上并可在纵向上滑动的升降抓取机构(3);所述升降抓取机构(3)包括升降机构(4)和手爪(5),所述升降机构(4)包括上连接板(41)、下连接板(42)、固定于所述上连接板(41)的升降伺服电机(43)及通过所述升降伺服电机(43)控制带动所述下连接板(42)上下移动的丝杠(44),所述手爪(5)通过若干个连接光轴(6)和加强肋(7)与所述下连接板(42)固定连接;所述手爪(5)包括与所述下连接板(42)固接的固定板(51)、固定于所述固定板(51)上的两个第一气缸(52)、两个第二气缸(53)、两个横向夹爪(54)及两个纵向夹爪(55);两个所述第一气缸(52)控制两个所述横向夹爪(54)的开合,两个所述第二气缸(53)控制两个所述纵向夹爪(55)的开合。
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