[实用新型]一种紧凑型高可靠性的挡光式MEMS可调光衰减器

摘要

本实用新型提供了一种紧凑型高可靠性的挡光式MEMS可调光衰减器，包括双光纤头和MEMS芯片，双光纤头包括光信号输入光纤和光信号输出光纤，还包括透镜、反射镜及封装壳体，双光纤头、MEMS芯片、透镜及反射镜自左而右依次设置于封装壳体内，双光纤头固定在MEMS芯片的前侧，透镜的前端与MEMS芯片的后侧相对设置，透镜的后端与反射镜的前端相对设置，封装壳体的内腔底板上设置有光纤头基座、透镜基座和反射镜基座，双光纤头固定于光纤头基座上，透镜固定于透镜基座上，反射镜固定于反射镜基座上。本实用新型结构紧凑；具有更好的温度性能和更高的可靠性。

主权项

一种紧凑型高可靠性的挡光式MEMS可调光衰减器，所述挡光式MEMS可调光衰减器包括双光纤头和MEMS芯片，所述双光纤头包括光信号输入光纤和光信号输出光纤，所述光信号输入光纤和所述光信号输出光纤对称分布于该挡光式MEMS可调式光衰减器中心轴线的两侧；其特征在于：所述挡光式MEMS可调光衰减器还包括透镜、反射镜及封装壳体，所述双光纤头、所述MEMS芯片、所述透镜及所述反射镜沿着该挡光式MEMS可调式光衰减器中心轴线方向自左而右依次设置于所述封装壳体内，所述双光纤头固定在所述MEMS芯片的前侧，所述透镜的前端与所述MEMS芯片的后侧相对设置，所述透镜的后端与所述反射镜的前端相对设置，所述反射镜处于所述光信号输入光纤和所述光信号输出光纤出射的两束光依次经所述MEMS芯片及所述透镜准直后的交叉点位置；所述封装壳体的内腔底板上设置有光纤头基座、透镜基座和反射镜基座，所述双光纤头固定于所述光纤头基座上，所述透镜固定于所述透镜基座上，所述反射镜固定于所述反射镜基座上；所述双光纤头与所述光纤头基座之间、所述透镜与所述透镜基座之间以及所述反射镜与所述反射镜基座之间的固定方式是通过锡进行焊接。