[实用新型]旋干机的反应槽有效
申请号: | 201720373102.7 | 申请日: | 2017-04-11 |
公开(公告)号: | CN206803605U | 公开(公告)日: | 2017-12-26 |
发明(设计)人: | 张振;李晓明;吕晓飞;钱宏亮;王豪 | 申请(专利权)人: | 江苏晶瑞半导体有限公司 |
主分类号: | F26B5/08 | 分类号: | F26B5/08;F26B21/14;F26B25/00 |
代理公司: | 常州知融专利代理事务所(普通合伙)32302 | 代理人: | 路接洲 |
地址: | 213314 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种旋干机的反应槽,包括圆筒形的反应槽本体,反应槽本体的一端开口,另一端连接有端板,反应槽本体内设置有转轴和套设在转轴上的转子,端板外侧通过支架组件连接有马达,马达的输出端与转轴末端联接,转轴末端与马达输出端的连接处设有磁密封组件;反应槽本体的外侧壁上安装有反应槽支撑架和加热器,反应槽支撑架固定在机台座上,机台座还连接支架组件,支架组件与机台座的连接处设置有避震垫。本实用新型马达的支架组件与机台座的连接处设置有避震垫,可将振动量抑制至最低,转轴末端与马达输出端的连接处设磁密封组件,在转动时中可将微尘及水气阻绝,可避免机构运作时产生的微尘进入反应槽本体内,避免晶片受到损伤。 | ||
搜索关键词: | 旋干机 反应 | ||
【主权项】:
一种旋干机的反应槽,包括圆筒形的反应槽本体,其特征在于:所述反应槽本体的一端开口,另一端连接有端板,反应槽本体内设置有转轴和套设在转轴上的转子,反应槽本体开口处连接有视窗盖,所述端板的中间开设有供转轴末端穿出的通孔,端板外侧通过支架组件连接有马达,所述马达的输出端与转轴末端联接,转轴末端与马达输出端的连接处设有磁密封组件,所述磁密封组件包括依次套设在转轴上的第一O型圈、磁性轴承、第一磁性轴承套、第二密封圈、第二磁性轴承套和磁性环;所述反应槽本体的外侧壁上安装有反应槽支撑架和加热器,所述反应槽支撑架固定在机台座上,所述机台座还连接支架组件,所述支架组件与机台座的连接处设置有避震垫。
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