[实用新型]一种对位装置及蒸镀设备有效
申请号: | 201720376582.2 | 申请日: | 2017-04-11 |
公开(公告)号: | CN206616265U | 公开(公告)日: | 2017-11-07 |
发明(设计)人: | 钟全;蒋国;封建林 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人: | 郭润湘 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及显示技术领域,特别涉及一种对位装置及蒸镀设备。该对位装置包括沿玻璃基板周向分布的至少四个对位机构、以及设置于至少四个对位机构顶部的冷却板机构,每个对位机构包括底座、能够沿底座的延伸方向滑动地安装于底座的滑块;底座朝向玻璃基板的一端设置有用于支撑玻璃基板的支撑面;滑块背离玻璃基板的一侧表面与水平面形成的开口朝向玻璃基板的夹角为锐角;冷却板机构包括冷却板以及设置于冷却板、且与滑块一一对应抵接的驱动组件,驱动组件用于驱动滑块朝向玻璃基板滑动。该对位装置能够通过活动设置的滑块减小玻璃基板碎裂的几率,进而提高蒸镀设备的生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 对位 装置 设备 | ||
【主权项】:
一种对位装置,用于玻璃基板的对位,其特征在于,所述对位装置包括沿所述玻璃基板周向分布的至少四个对位机构、以及设置于所述至少四个对位机构顶部的冷却板机构,其中:每个对位机构包括底座、能够沿所述底座的延伸方向滑动地安装于所述底座的滑块;所述底座朝向玻璃基板的一端设置有用于支撑所述玻璃基板的支撑面;所述滑块背离所述玻璃基板的一侧表面与水平面形成的开口朝向所述玻璃基板的夹角为锐角;所述冷却板机构包括冷却板以及设置于所述冷却板、且与所述滑块一一对应抵接的驱动组件,所述驱动组件用于驱动所述滑块朝向所述玻璃基板滑动。
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