[实用新型]一种多边结构尺寸硅片的粘棒工装

摘要

本实用新型涉及一种多边结构尺寸硅片的粘棒工装，包括树脂板、晶托和边数不少于五的多边形晶棒，树脂板与晶托粘接，多边形晶棒粘接于树脂板的表面，该粘棒工装的切割方法包含如下步骤(1)粘胶；(2)上料；(3)线切割，通过对现有金刚线多线切割工艺做优化，实施对多边结构晶棒的切片；(4)下料，采用上下料工装将加工完成后的硅片运送脱胶机中；(5)脱胶，清洗检测，包装。本实用新型的优点在于，能够在现有的多线切割设备、辅材不变的基础上，对切割工艺进行简单调整，完成多线切割多边结构的晶棒，同时能够在现有的晶圆直径不变的基础上，切割出的单张硅片表面积比现有的单张硅片表面积增加22.5％以上，进一步提高了设备产能。

主权项

一种多边结构尺寸硅片的粘棒工装，其特征在于，包括树脂板(1)、晶托(2)和边数不少于五的多边形晶棒(3)，树脂板(1)与晶托(2)粘接，多边形晶棒(3)粘接于树脂板(1)的表面。