[实用新型]一种亚微米级精密微装键合装置

摘要

本实用新型公开了一种亚微米级精密微装键合装置，包括机架台面，所述机架台面上设有下真空腔、X/Y/θ三轴调节机构和横移机构，且横移机构设于下真空腔的一侧，所述X/Y/θ三轴调节机构设于横移机构下部，且机架台面上设有显示器，所述下真空腔为中空结构，所述下真空腔内设有静电吸附平台，且下真空腔的一侧设有真空吸附口，所述真空吸附口延伸至下真空腔外，所述下真空腔上设有观察窗，所述X/Y/θ三轴调节机构包括三轴对位平台，所述三轴对位平台上设有载物台，所述载物台为中空结构。本实用新型结构简单，操作方便，能够快速对CF玻璃、透明光学胶和硅基芯片进行键合，提高工作效率，满足人们的使用需求。

主权项

一种亚微米级精密微装键合装置，包括机架台面(1)，其特征在于，所述机架台面(1)上设有下真空腔(2)、X/Y/θ三轴调节机构(3)和横移机构(4)，且横移机构(4)设于下真空腔(2)的一侧，所述X/Y/θ三轴调节机构(3)设于横移机构(4)上，且机架台面(1)上设有显示器(5)，所述下真空腔(2)为中空结构，所述下真空腔(2)内设有静电吸附平台(21)，且下真空腔(2)的一侧设有真空吸附口(22)，所述真空吸附口(22)延伸至下真空腔(2)外，所述下真空腔(2)上设有观察窗(23)，所述X/Y/θ三轴调节机构(3)包括三轴对位平台(31)，所述三轴对位平台(31)上设有载物台(32)，所述载物台(32)为中空结构，所述载物台(32)内设有三色复合面光源(33)，所述横移机构(4)包括模组安装立柱(41)，所述模组安装立柱(41)的数量为两个，且模组安装立柱(41)设于机架台面(1)上，所述模组安装立柱(41)上设有第一精密线性模组(42)，所述第一精密线性模组(42)远离模组安装立柱(41)的一侧设有横移安装板(43)，所述横移安装板(43)上设有第二精密线性模组(456)和第三精密线性模组(441)，且第三精密线性模组(441)设于第二精密线性模组(456)的一侧，所述第二精密线性模组(456)上设有安装板(455)，且安装板(455)的底端设有上真空腔(45)，所述上真空腔(45)上设有压合气缸(451)，且压合气缸(451)贯穿上真空腔(45)，所述上真空腔(45)的底端设有密封圈(452)，且压合气缸(451)通过活塞杆连接有压合板(453)，所述压合板(453)的底端设有粘着板(454)，所述第三精密线性模组(441) 上设有镜头燕尾调节模组(442)，所述镜头燕尾调节模组(442)的一侧设有高像素相机(443)，且高像素相机(443)的底端设有高倍率镜头(444)，且高倍率镜头(444)连接有三色复合面光源(33)。