[实用新型]太阳能电池硅片弯曲度和翘曲度检测装置有效
申请号: | 201720395791.1 | 申请日: | 2017-04-14 |
公开(公告)号: | CN206628448U | 公开(公告)日: | 2017-11-10 |
发明(设计)人: | 孙铁囤;姚伟忠;汤平 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人: | 郑云 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种太阳能电池硅片弯曲度和翘曲度检测装置,上料机构将太阳能电池硅片放置在输送机构,输送机构带动太阳能电池硅片向检测箱方向运动,光电传感器检测到有太阳能电池硅片到达下载板上方时,提升气缸带动下载板向上运动,使下载板盖合在检测箱的开口上,检测箱内部处于无光环境;启动扫描灯,扫描灯的光线照射到太阳能电池硅片上,经过光学系统进入CCD相机成像,并发送图像处理系统对所成的像进行处理,并且与标准的图像进行比对,将比对结果发送至电脑主机,由显示器进行显示,从而实现弯曲度和翘曲度的检测。 | ||
搜索关键词: | 太阳能电池 硅片 弯曲 曲度 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种太阳能电池硅片弯曲度和翘曲度检测装置,其特征在于:包括检测机构,用于太阳能电池硅片的弯曲度和翘曲检测;上料机构,用于抓取太阳能电池硅片放置在所述检测机构上;以及下料机构,用于将检测完成的太阳能电池硅片从检测机构上取走;所述检测机构包括支架,以及设置在支架上的输送机构、提升机构和检测箱,所述输送机构用于承托待检测的太阳能电池硅片从上料机构一侧经过检测箱流转至下料机构一侧,所述提升机构包括下载板和设置在下载板底部的提升气缸,所述提升气缸带动所述下载板上下运动,所述下载板上方的输送机构上设有光电传感器,所述检测箱位于所述下载板的正上方,且所述检测箱为下端开口的柱形空箱,所述下载板的大小要至少能够盖住所述检测箱下端的开口,所述检测箱内部设有与所述下载板平行的图像扫描组件,所述图像扫描组件包括上盖板、扫描灯、反光罩、反光镜、CCD相机、图像处理系统、电脑主机和显示器,所述电脑主机上安装有与图像处理系统配套的图像处理软件,所述扫描灯位于所述上盖板与所述检测箱形成的成像室内,且位于所述上盖板的上方,所述扫描灯、反光罩、反光镜和CCD相机光学连接,所述CCD相机与所述图像处理系统、电脑主机和显示器线路连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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