[实用新型]超声波指纹传感器

摘要

本申请公开了一种超声波指纹传感器。该超声波指纹传感器包括超声波换能器，所述超声波换能器包括第一衬底、位于所述第一衬底上的机械支撑层、以及位于所述机械支撑层上的压电叠层，所述超声波换能器包括彼此相对的第一表面和第二表面；以及CMOS电路，所述超声波换能器和所述CMOS电路彼此连接，其中，所述超声波换能器的第二表面与所述CMOS电路的第三表面相对，所述超声波换能器包括在所述超声波换能器的第一表面中形成的超声波波导结构，以及所述机械支撑层为外延多晶层。该超声波指纹传感器利用外延多晶生长的机械支撑层减小应力对超声波换能器的性能影响，从而提高频率稳定性和成品率。

主权项

一种超声波指纹传感器，其特征在于，包括：超声波换能器，所述超声波换能器包括第一衬底、位于所述第一衬底上的机械支撑层、以及位于所述机械支撑层上的压电叠层，所述超声波换能器包括彼此相对的第一表面和第二表面；以及CMOS电路，所述CMOS电路包括第二衬底、在所述第二衬底中形成的至少一个晶体管、以及位于所述至少一个晶体管上的多个布线层和多个层间介质层，所述CMOS电路包括彼此相对的第三表面和第四表面，其中，所述超声波换能器和所述CMOS电路彼此连接，其中，所述超声波换能器的第二表面与所述CMOS电路的第三表面相对，所述超声波换能器包括在所述超声波换能器的第一表面中形成的超声波波导结构，以及所述机械支撑层为外延多晶层。