[实用新型]一种用于涂布机的防干燥装置

摘要

本实用新型提供了一种用于涂布机的防干燥装置，涂布机包括有用于涂布的涂头，防干燥装置包括用于容纳稀释剂的防干燥容纳腔和防干燥盖板，防干燥容纳腔包括有开口、底壁和侧壁，底壁和侧壁连接，开口和底壁分别位于侧壁两端，开口用于放置于涂头位置；防干燥盖板可滑动的设置在侧壁上，用于盖开口，防干燥盖板的宽度大于开口的最大宽度，防干燥盖板和侧壁之间设置有导向结构，导向结构控制防干燥盖板在侧壁上、且在开口所形成的平面范围内滑动，以控制所述开口大小。本实用新型不仅防止涂头内光阻挥发稀释剂过多而干结，而且还防止防干燥容纳腔内的稀释剂挥发进入涂头光阻过多而使涂头内光阻流出，确保光阻能够正常涂布，改善产品良率。

主权项

一种用于涂布机的防干燥装置，所述涂布机包括有用于涂布的涂头，其特征在于，所述防干燥装置包括：防干燥容纳腔，用于容纳稀释剂，所述防干燥容纳腔包括有开口、底壁和侧壁，所述底壁和侧壁连接，所述开口和底壁分别位于所述侧壁两端，所述开口用于放置于所述涂头位置；防干燥盖板，可滑动的设置在所述侧壁上，用于盖所述开口，所述防干燥盖板的宽度大于所述开口的最大宽度，所述防干燥盖板和侧壁之间设置有导向结构，所述导向结构控制所述防干燥盖板在所述侧壁上、且在所述开口所形成的平面范围内滑动，以控制所述开口大小。