[实用新型]一种两源可控的SiO生产系统

摘要

一种两源可控的SiO生产系统，可解决传统SiO生产系统生产效率低的技术问题。包括双坩埚感应加热部分和静电收集装置，双坩埚感应加热部分设置在不锈钢真空腔体内，双坩埚感应加热部分包括双坩埚和感应加热线圈，感应加热线圈为两个，分别设置在双坩埚的外部，静电收集装置包括收集管和收集杆，收集管内设置成静电金属收集腔体，收集杆设置在收集管内，收集管设置在不锈钢真空腔体的上方并连通到不锈钢真空腔体的内部，还包括电控柜，电控柜与感应加热线圈连接。本实用新型采用两源控制，能对反应条件进行精确控制，产物质量精确可控，并且能够缩短一氧化硅的生产周期，降低能耗，既能够满足一氧化硅的大规模生产，又能够满足科研院所的探索研究要求。

主权项

一种两源可控的SiO生产系统，包括双坩埚感应加热部分和静电收集装置(3)，其特征在于：所述双坩埚感应加热部分设置在不锈钢真空腔体(5)内，双坩埚感应加热部分包括双坩埚和感应加热线圈(2)，所述双坩埚为两个独立的蒸镀坩埚，感应加热线圈(2)为两个，分别设置在蒸镀坩埚的外部，所述静电收集装置(3)包括收集管和收集杆(4)，所述收集管内设置成静电金属收集腔体，收集杆(4)设置在收集管内，所述收集杆(4)带水冷，收集管设置在不锈钢真空腔体(5)的上方并连通到不锈钢真空腔体(5)的内部，还包括电控柜(6)，所述电控柜(6)与感应加热线圈(2)连接。