[实用新型]一种基于宏微结合的载物台有效
| 申请号： | 201720416843.9 | 申请日： | 2017-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN206671669U | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 须颖;贾静;张南生;高旭 | 申请（专利权）人： | 三英精控(天津）仪器设备有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/26 | 分类号： | G02B21/26 |
| 代理公司： | 北京君泊知识产权代理有限公司11496 | 代理人： | 王程远 |
| 地址： | 301700 天津市武*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种基于宏微结合的载物台，包括用于实现载物台面在XY方向上微米级精度步长运动的微米载物台，和用于实现XY方向纳米级精度步长运动的纳米载物台，所述纳米载物台安装在所述微米载物台上。本实用新型把宏观的位移和微观的精确位移集成到一起，从而实现纳米级的精度和宏观几百毫米的位移兼具的使用需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 结合 载物台 | ||
【主权项】：
一种基于宏微结合的载物台，其特征在于：包括微米载物台、安装在所述微米载物台上的纳米载物台。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三英精控(天津）仪器设备有限公司，未经三英精控(天津）仪器设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720416843.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
