[实用新型]一种等离子体氧化抛光系统有效
| 申请号： | 201720417642.0 | 申请日： | 2017-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN206967172U | 公开（公告）日： | 2018-02-06 |
| 发明（设计）人： | 沈新民;涂群章;何晓晖;李治中;唐建;张晓南;王新晴;殷勤;王东;白攀峰 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军理工大学 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B27/033;B24B41/00;B24B55/00 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251 | 代理人： | 王华 |
| 地址： | 210000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种等离子体氧化抛光系统，系统包括氦气罐，氦气罐通过气管连接水瓶，接水瓶通过气管连通抛光工作室，抛光工作室包括水平设置的旋转台，旋转台上设置有抛光块，抛光块的上表面上放置样品，样品上方固定连接旋转电机，旋转台的上表面还连接电极，旋转台和电极分别通过导线连接手动匹配器，手动匹配器连接射频电源；本实用新型产品便于调整射频电源功率，且易于更换氧化气流组成，同时还具有水蒸气含量可调节、自由基的浓度可检测的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 氧化 抛光 系统 | ||
【主权项】：
一种等离子体氧化抛光系统，其特征在于，所述系统包括氦气罐（1），所述氦气罐（1）通过气管连接水瓶（3），所述接水瓶（3）通过气管连通抛光工作室，所述抛光工作室包括水平设置的旋转台（7），所述旋转台（7）上设置有抛光块（6），所述抛光块（6）的上表面上放置样品（8），所述样品（8）上方固定连接旋转电机（5），所述旋转台（7）的上表面还连接电极（9），所述旋转台（7）和电极（9）分别通过导线连接手动匹配器（11），所述手动匹配器（11）连接射频电源（12）。
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