[实用新型]X射线源装置有效
| 申请号： | 201720433126.7 | 申请日： | 2017-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN207199564U | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | 石伟;梁栋;洪序达;胡战利;蒋昌辉 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | H01J35/02 | 分类号： | H01J35/02;H01J35/04;H01J35/06 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所31263 | 代理人： | 李献忠,张静 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及电子发射领域。本实用新型提供了一种X射线源装置。该X射线源装置包括三极式X射线源、真空腔、真空泵机组、阳极高压电源、栅极高压及脉冲驱动单元、真空环境监测单元和控制平台。三极式X射线源由阴极、栅极和阳极组成，并且阳极高压电源和栅极高压及脉冲驱动单元经真空腔法兰分别连接至三极式X射线源的阳极与栅极，三极式X射线源阴极接地。真空环境监测单元和真空泵机组分别经不同法兰连接至真空腔。该装置可以实现阴极测试与老化过程的自动控制，并避免阴极老化过程中持续打火导致的阴极损坏，具有较强的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 装置 | ||
【主权项】：
一种X射线源装置，其特征在于：其包括三极式X射线源、真空腔、真空泵机组、阳极高压电源、栅极高压及脉冲驱动单元、真空环境监测单元和控制平台，并且所述三极式X射线源设置于所述真空腔内，由阴极、栅极和阳极组成，并且所述阳极高压电源经所述真空腔的第一法兰连接至所述三极式X射线源的所述阳极，所述栅极高压及脉冲驱动单元经所述真空腔的第二法兰连接至所述三极式X射线源的所述栅极，所述三极式X射线源的所述阴极接地，所述真空环境监测单元经所述真空腔的第三法兰连接至所述真空腔，所述真空泵机组经所述真空腔的第四法兰连接至所述真空腔，所述控制平台经通讯线缆分别连接至所述阳极高压电源、所述真空环境监测单元和所述栅极高压及脉冲驱动单元。
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