[实用新型]一种带有冷却装置的真空镀膜腔体有效
| 申请号： | 201720434196.4 | 申请日： | 2017-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN206902223U | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 杨娜 | 申请（专利权）人： | 君泰创新（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所11569 | 代理人： | 王加贵 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带有冷却装置的真空镀膜腔体。该真空镀膜腔体包括真空腔体和冷却装置；所述冷却装置安装于所述真空腔体内部；所述冷却装置包括上部水冷装置、中部水冷装置和下部水冷装置；所述上部水冷装置紧贴所述真空腔体的上壁；所述中部水冷装置凌空架设在所述真空腔体左侧腔壁和右侧腔壁之间；所述下部水冷装置紧贴所述真空腔体的侧壁的下部，沿所述侧壁水平分布。本实用新型公开的真空镀膜腔体使得真空腔体内的温度不至于过高，避免真空腔体因受热发生形变，延长真空腔体的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 冷却 装置 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，包括真空腔体，其特征在于，还包括：冷却装置；所述冷却装置安装于所述真空腔体内部；所述冷却装置包括上部水冷装置、中部水冷装置和下部水冷装置；所述上部水冷装置紧贴所述真空腔体的上壁；所述中部水冷装置凌空架设在所述真空腔体左侧腔壁和右侧腔壁之间；所述下部水冷装置紧贴所述真空腔体的侧壁的下部，沿所述侧壁水平分布。
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