[实用新型]阵列测量装置及阵列定位装置有效
| 申请号： | 201720434732.0 | 申请日： | 2017-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN206670557U | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 胡贤夫 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种阵列测量装置及阵列定位装置，所述阵列测量装置测量阵列基板与真空反应装置之间的位置关系，所述阵列基板与所述真空反应装置为方形，所述真空反应装置将所述阵列基板承载于其自身的中心位置，所述阵列测量装置包括镜筒装置、目镜装置、照明装置、透镜装置，其中所述镜筒装置具有第一端面和第二端面，所述目镜装置靠近所述第一端面，所述目镜装置包括刻度标记，所述透镜装置靠近所述第二端面，所述照明装置位于所述目镜装置和所述透镜装置之间，所述第二端面接触所述阵列基板的一顶角。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 测量 装置 定位 | ||
【主权项】：
一种阵列测量装置，所述阵列测量装置测量阵列基板与真空反应装置之间的位置关系，所述阵列基板与所述真空反应装置为方形，所述真空反应装置将所述阵列基板承载于其自身的中心位置，其特征在于，所述阵列测量装置包括镜筒装置、目镜装置、照明装置、透镜装置，其中：所述镜筒装置具有第一端面和第二端面，所述目镜装置靠近所述第一端面，所述目镜装置包括刻度标记，所述透镜装置靠近所述第二端面，所述照明装置位于所述目镜装置和所述透镜装置之间，所述第二端面接触所述阵列基板的一顶角。
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