[实用新型]一种用于真空互联扫描电镜样品托有效
| 申请号： | 201720436193.4 | 申请日： | 2017-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN206711864U | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 丁祥金;丁祥飞;阮颖华 | 申请（专利权）人： | 上海磐颖实业有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200433 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空机械领域，尤其涉及一种用于真空互联扫描电镜样品托，用于解决真空互联下扫面电镜晶圆样品(wafer)的装载和固定问题。该样品托具具有三层结构，顶层由样品托盘(5)、等距分布的样品压紧弹簧(3)、相对应的径向推杆(2)、径向推杆固定座(4)、中心旋转凸轮(1)、轴承(7)以及优选圆形结构的样品托盘连接座(6)底层构成；中间层是一个弹簧预应力层，下层是一个与中心旋转凸轮(1)中心轴过盈配合的样品托安装接口(9)。固定顶层的样品托盘(5)，旋转底层样品托安装接口(9)可以带动中心旋转凸轮(1)推开或闭合样品压紧弹簧(3)来实现真空互联下扫描电镜晶圆样品的装载和固定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 扫描电镜 样品 | ||
【主权项】：
一种用于真空互联扫描电镜样品托，其特征在于：所述的一种用于真空互联扫描电镜的样品托具有三层结构，顶层是样品夹持层，中间层是弹簧预应力施加层，底层是样品托安装接口；顶层样品夹持层相对于底层样品托安装接口，在施加外力克服了中间层预加弹簧应力引发的摩擦力后，可以做相对旋转运动；在没有外力作用下，样品托顶层与底层在中间层弹簧预应力引发的摩擦力作用下形成一个整体，随被安装的扫面电镜观察台移动、旋转。
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