[实用新型]一种离子源发生装置

摘要

本实用新型涉及一种离子源发生装置，包括电弧套、设于所述电弧套内部的两根灯丝、搭接在两根灯丝上的电弧环以及套设在电弧套外部的外挡罩、收容在放电弧室内部的内挡罩，外挡罩和内挡罩均由316不锈钢材料制成，外挡罩的内壁与电弧套的外壁相贴合，内挡罩的外壁与电弧套的内壁相贴合，生成离子时，产生的电子或离子往往会撞击电弧套的石墨侧壁，形成粉尘碎屑掉落在电弧套内，从而影响灯丝的绝缘性，降低离子源的使用寿命，在电弧套内壁和外壁增加内挡罩和外挡罩后，石墨电弧套既能很好地隔热，内、外挡罩又能够避免电子或离子撞击在石墨电弧套侧壁上产生的粉尘碎屑对离子源的干扰，延长了离子源的寿命，提高了离子源发生装置的利用率。

主权项

一种离子源发生装置，其特征在于：所述离子源发生装置包括电弧套(1)、两根灯丝(2)、电弧环(3)、外挡罩(4)和内挡罩(5)，所述外挡罩(4)套设在所述电弧套(1)的外部，所述内挡罩(5)收容在所述电弧套(1)的内部，两根所述灯丝(2)设置在所述内挡罩(5)的内部，所述电弧环(3)搭接在两根所述灯丝(2)上方，所述外挡罩(4)与所述内挡罩(5)均呈卷曲形成的筒状结构，且所述外挡罩(4)与所述内挡罩(5)均由弹性材料制成。