[实用新型]一种扩散炉激光检测装置有效
| 申请号： | 201720443429.7 | 申请日： | 2017-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN206803955U | 公开（公告）日： | 2017-12-26 |
| 发明（设计）人： | 钱力 | 申请（专利权）人： | 苏州同冠微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙)11489 | 代理人： | 曹军 |
| 地址： | 215600 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扩散炉激光检测装置，用于检测扩散炉，所述扩散炉激光检测装置包括连接于扩散炉一端的第一验证组件、连接于扩散炉另一端的第二验证组件和连接于第二验证组件上的激光源，第二验证组件包括安装在扩散炉一端的连接件、可转动的连接在连接件上的调节杆和可沿调节杆移动且套设在调节杆上的隔套，激光源设置在隔套上，第一验证组件包括第一校验板，第一校验板的中心处设有第一校验标记。使用时，调节调节杆和隔套，使激光穿过进气管的中心，再根据激光是否穿过第一校验标记来判断扩散炉管是否变形，实现初步检测和精检测，提高了检测精度，且结构简易，成本低，实用性强，便于推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 激光 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种扩散炉激光检测装置，用于检测扩散炉(4)，其特征在于：所述扩散炉激光检测装置包括连接于扩散炉(4)一端的第一验证组件(1)、连接于扩散炉(4)另一端的第二验证组件(2)和连接于所述第二验证组件(2)上的激光源(3)，所述第二验证组件(2)包括安装在扩散炉(4)一端的连接件(21)、可转动的连接在所述连接件(21)上的调节杆(22)和可沿所述调节杆(22)移动且套设在所述调节杆(22)上的隔套(23)，所述激光源(3)设置在所述隔套(22)上，所述第一验证组件(1)包括第一校验板(11)，所述第一校验板(11)的中心处设有第一校验标记(111)，调节所述激光源(3)，使激光源(3)通过扩散炉(4)的进气管(41)的中心射在所述第一校验板(11)上。
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