[实用新型]一种卧式炉管进出舟系统

摘要

一种卧式炉管进出舟系统，包括设置在炉管一侧的碳化硅桨组件，设置在碳化硅桨组件一侧的连动杆，及设置在连动杆一侧的感应机构，所述碳化硅桨组件包括碳化硅桨及夹桨座，所述碳化硅桨能够在推舟机构的推动下朝炉管方向运行，所述连动杆在靠近炉管处固定设置有挡板，所述挡板位于连动杆靠近碳化硅桨的一侧，所述感应机构与所述推舟机构电连接，所述夹桨座移动能够抵持在挡板上，并带动连动杆触发感应机构。本实用新型所述的一种卧式炉管进出舟系统，利用感应机构定位碳化硅桨的输送位置，使得碳化硅桨能够准确的将硅片送至正常工艺位置，保证了产品质量。

主权项

一种卧式炉管进出舟系统，其特征在于：包括设置在炉管(1)一侧的碳化硅桨组件(2)，设置在碳化硅桨组件(2)一侧的连动杆(3)，及设置在连动杆(3)一侧的感应机构(4)，所述碳化硅桨组件(2)包括碳化硅桨(21)及夹桨座(22)，所述碳化硅桨(21)能够在推舟机构的推动下朝炉管(1)方向运行，所述连动杆(3)在靠近炉管(1)处固定设置有挡板(32)，所述挡板(32)位于连动杆(3)靠近碳化硅桨(21)的一侧，所述感应机构(4)与所述推舟机构电连接，所述夹桨座(22)移动能够抵持在挡板(32)上，并带动连动杆(3)触发感应机构(4)。