[实用新型]基于MEMS技术的差压流量传感器

摘要

本实用新型揭示了基于MEMS技术的差压流量传感器，包括位于外壳内腔中的MEMS差压传感器芯片封装体及信号处理电路板，MEMS差压传感器芯片封装体设置于信号处理电路板上且它们通信，MEMS差压传感器芯片封装体的去向压力导压口与信号处理电路板上的通孔共轴以及与外壳上的一个导通孔密封配接，MEMS差压传感器芯片封装体的来向压力导压口与另一个导通孔密封配接；MEMS差压传感器芯片封装体及信号处理电路板通过填充内腔的防水密封层密封固定，信号处理电路板上还连接延伸到所述外壳和防水密封层外的引出线缆。本实用新型省去了二次装置，提高了整体的集成度，减小体积，提高了测量精度，适用于低流速流量测量，多结构的密封防水层，密封性和防水性大大提高。

主权项

基于MEMS技术的差压流量传感器，用于低流速流量监测，其特征在于：包括设置于同一外壳（3）的内腔中的MEMS差压传感器芯片封装体（1）及信号处理电路板（2），所述MEMS差压传感器芯片封装体（1）设置于所述信号处理电路板（2）上并与其连接通信，且所述MEMS差压传感器芯片封装体（1）的去向压力导压口（11）与信号处理电路板（2）上的通孔（21）共轴以及与所述外壳（3）上的一个导通孔（31）共轴且四周密封连接，所述MEMS差压传感器芯片封装体（1）的来向压力导压口（12）与外壳（3）上的另一导通孔（31）共轴并四周密封连接；所述MEMS差压传感器芯片封装体（1）及信号处理电路板（2）通过填充所述外壳（3）的内腔的防水密封层（4）密封固定，所述信号处理电路板（2）上连接引出线缆（5），所述引出线缆（5）延伸到所述外壳（3）和防水密封层（4）外。