[实用新型]一种薄膜晶体管、显示面板和显示装置

摘要

本申请提供一种薄膜晶体管、显示面板和显示装置，薄膜晶体管，包括源极、漏极、栅极和有源层；有源层包括源极区、漏极区、沟道区和轻掺杂区，沟道区位于源极区、漏极区之间，源极区通过第一过孔与源极相连，漏极区通过第二过孔与漏极相连，栅极与有源层的重叠部分为沟道区；靠近漏极区的栅极沿第一方向延伸；沟道区、轻掺杂区以及漏极区沿第二方向依次排布，第二方向与第一方向垂直；其中，漏极区朝向沟道区的一侧具有至少一个凹口，且在第二方向上，凹口的底部与轻掺杂区朝向沟道区的边缘之间的最大距离大于或等于轻掺杂区的长度。通过设置至少一个凹口，减小了因对位偏差造成的LDD区面积波动的增大量，相应地，降低了漏电流。

主权项

一种薄膜晶体管，其特征在于，包括：源极、漏极、栅极和有源层；所述有源层包括源极区、漏极区、沟道区和轻掺杂区，所述沟道区位于所述源极区、漏极区之间，所述源极区通过第一过孔与所述源极相连，所述漏极区通过第二过孔与所述漏极相连，所述栅极与所述有源层的重叠部分为所述沟道区；靠近所述漏极区的所述栅极沿第一方向延伸；所述沟道区、所述轻掺杂区以及所述漏极区沿第二方向依次排布，所述第二方向与所述第一方向垂直；其中，所述漏极区朝向所述沟道区的一侧具有至少一个凹口，且在所述第二方向上，所述凹口的底部与所述轻掺杂区朝向所述沟道区的边缘之间的最大距离大于或等于所述轻掺杂区的长度。