[实用新型]一种MEMS麦克风中的振膜及MEMS麦克风有效
申请号: | 201720449431.5 | 申请日: | 2017-04-26 |
公开(公告)号: | CN206908856U | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
发明(设计)人: | 邱冠勳;蔡孟锦;詹竣凱;周宗燐;李俊;李江龙 | 申请(专利权)人: | 歌尔科技有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04;H04R7/12 |
代理公司: | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人: | 王昭智,马佑平 |
地址: | 266104 山东省青岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种MEMS麦克风中的振膜及MEMS麦克风,包括振膜主体,在所述振膜主体上设置有至少两个分布在不同周向方向上的泄压部,所述每个泄压部呈环状,且所述至少两个泄压部中,位于外侧的泄压部的泄压能力小于位于内侧的泄压部。本实用新型的振膜,泄压部根据振膜的受力分布状态排列,使得在受到大气冲击时,通过泄压能力不同的泄压部可以快速均衡振膜整体各位置的压差,也就是说,均衡振膜各位置的受力,从而可以避免因气流扰动而造成振膜的扭曲变形、破裂。 | ||
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【主权项】:
一种MEMS麦克风中的振膜,其特征在于:包括振膜主体,在所述振膜主体上设置有至少两个分布在不同周向方向上的泄压部,每个所述泄压部呈环状,且所述至少两个泄压部中,位于外侧的泄压部的泄压能力小于位于内侧的泄压部。
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