[实用新型]银蒸发用坩埚有效
申请号: | 201720452871.6 | 申请日: | 2017-04-26 |
公开(公告)号: | CN206787286U | 公开(公告)日: | 2017-12-22 |
发明(设计)人: | 游佩武;裘立强;王毅 | 申请(专利权)人: | 扬州杰利半导体有限公司 |
主分类号: | F27B14/00 | 分类号: | F27B14/00;F27B14/10 |
代理公司: | 扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙)32283 | 代理人: | 周全 |
地址: | 225008 江苏省扬*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 银蒸发用坩埚。涉及一种坩埚,具体涉及一种银蒸发用坩埚。提供了一种减缓热量流失,增加蒸发效率的银蒸发用坩埚。包括内部为空腔结构的铜质坩埚本体,空腔中连通流动的冷却液,所述坩埚本体上表面开设若干凹槽状的铜坩埚,所述铜坩埚内设有与铜坩埚适配的钼坩埚。所述钼坩埚的埚口固定设有连接在所述坩埚本体上的连接盘。所述连接盘与所述坩埚本体的连接结构为所述坩埚本体上、铜坩埚周围设有与卡扣一适配的凹槽。所述坩埚本体上、铜坩埚周围设有与所述T型卡扣适配的T型环槽,所述T型环槽的内壁设有若干与所述T型卡扣适配的开口。本实用新型能减缓热量流失,增加蒸发效率,在达到效果的同时还减少了成本投入。 | ||
搜索关键词: | 蒸发 坩埚 | ||
【主权项】:
银蒸发用坩埚,包括内部为空腔结构的铜质坩埚本体,空腔中连通流动的冷却液,所述坩埚本体上表面开设若干凹槽状的铜坩埚,其特征在于,所述铜坩埚内设有与铜坩埚适配的钼坩埚。
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