[实用新型]一种用于彩色过滤层制备的工艺涂胶装置有效
| 申请号： | 201720455692.8 | 申请日： | 2017-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN207042770U | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 刘佰红;杨炜平;杨丽丽;杨晓雪;殷艳娥;段良飞;石春明;马跃霞 | 申请（专利权）人： | 云南北方奥雷德光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/10 |
| 代理公司： | 昆明祥和知识产权代理有限公司53114 | 代理人： | 张亦凡 |
| 地址： | 650223 *** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于彩色过滤层制备的工艺涂胶装置，属于半导体制造技术领域。该装置包括的双轴线性模组装置和滴管装置；双轴线性模组装置由水平驱动线性模组和垂直驱动线性模组构成，垂直驱动线性模组与水平驱动线性模组的第一滑块固定连接，滴管装置与垂直驱动线性模组的第二滑块固定连接；装置结构简单、灵活轻便，可实现自动识别涂胶颜色、自动更换塑料滴管、自动取胶、自动涂胶等一系列工艺流程，有效避免了管道涂胶设备存在的彩色光刻胶凝结、变质、气泡和颗粒污染等问题，省去管道涂胶设备中涂胶管道及喷嘴等部件定期清洁的繁琐工作，提高产品良率，保证了工艺生产的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 彩色 过滤 制备 工艺 涂胶 装置 | ||
【主权项】：
一种用于彩色过滤层制备的工艺涂胶装置，其特征在于该装置包括双轴线性模组装置和滴管装置；双轴线性模组装置由水平驱动线性模组和垂直驱动线性模组构成，垂直驱动线性模组与水平驱动线性模组的第一滑块（19）固定连接，滴管装置与垂直驱动线性模组的第二滑块（8）固定连接；所述滴管装置由塑料滴管（1）和滴管腔室构成；塑料滴管（1）位于滴管腔室正下方，塑料滴管（1）管口与滴管腔室管口承插连接。
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