[实用新型]基座载台、基座组件及研磨装置有效
| 申请号： | 201720458516.X | 申请日： | 2017-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN206764552U | 公开（公告）日： | 2017-12-19 |
| 发明（设计）人： | 谭巧敏;谢祖荣;沙酉鹤;黄涛 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种基座载台，所述基座载台包括中心部、位于所述中心部外围的边缘环形部、以及连接所述中心部与所述边缘环形部的若干个连接部；其中，所述中心部内设置有上下贯穿的排水孔，所述连接部内设置有上下贯穿的通孔。通过上述方案，本实用新型提供的基座载台在不影响该基座载台向上推顶晶圆的功能的前提下，能快速洗掉研磨清洗水，防止“奔驰标志”形状的缺陷形成。 | ||
| 搜索关键词： | 基座 组件 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种基座载台，其特征在于，所述基座载台包括：中心部、位于所述中心部外围的边缘环形部、以及连接所述中心部与所述边缘环形部的若干个连接部；其中，所述中心部内设置有上下贯穿的排水孔，所述连接部内设置有上下贯穿的通孔。
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