[实用新型]一种用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台有效
| 申请号： | 201720461544.7 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN206921783U | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 李琰琪;刘国;王钰雅;侯玉;王栩生;涂修文;邢国强 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;G01N23/22 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 张海英,林波 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台，包括测试平台和设置于所述测试平台底部的底座，所述测试平台和所述底座之间设置有弹性件，所述测试平台上倒扣设置有底部开口的筒形的蒙盖，所述蒙盖的侧壁与所述底座可拆卸连接，所述测试平台的顶面和所述蒙盖的内部顶面中的一个设置有用于放置样品的样品放置结构，所述蒙盖的顶面开设有样品观察口，所述样品观察口对应并连通所述样品放置结构。该用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台，测试时无需导电胶固定样品，能够极大改善图片质量、解决“黑纹”和“漂移”的问题，避免损坏样品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测试 导电 样品 表面 形貌 平台 | ||
【主权项】：
一种用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台，其特征在于，包括测试平台(1)和设置于所述测试平台(1)底部的底座(2)，所述测试平台(1)和所述底座(2)之间设置有弹性件(3)，所述测试平台(1)上倒扣设置有底部开口的筒形的蒙盖(4)，所述蒙盖(4)的侧壁与所述底座(2)可拆卸连接，所述测试平台(1)的顶面和所述蒙盖(4)的内部顶面中的一个设置有用于放置样品(100)的样品放置结构，所述蒙盖(4)的顶面开设有样品观察口(41)，所述样品观察口(41)对应并连通所述样品放置结构。
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