[实用新型]用于太阳能电池制造中的设备、和用于将材料沉积于用于太阳能电池制造中的基板上的系统有效
| 申请号： | 201720463781.7 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN206849850U | 公开（公告）日： | 2018-01-05 |
| 发明（设计）人： | 安德列·巴斯尼;达维德·科莱;马可·加利亚佐;路易吉·德·桑蒂 | 申请（专利权）人： | 应用材料意大利有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国,赵静 |
| 地址： | 意大利圣比亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供用于太阳能电池制造中的设备(100)、以及用于将材料沉积于用于太阳能电池制造中的基板上的系统(400)。所述设备(100)包括第一致动器(110)和第二致动器(120)，其中第一材料处理装置(112)可连接到所述第一致动器(110)。第二材料处理装置(122)可连接到所述第二致动器(120)。所述第二致动器(120)连接到所述第一致动器(110)。所述第一致动器(110)被配置为移动所述第二致动器(120)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 太阳能电池 制造 中的 设备 材料 沉积 基板上 系统 | ||
【主权项】：
一种用于太阳能电池制造中的设备，所述设备包括：第一致动器，其中第一材料处理装置可连接到所述第一致动器；和第二致动器，其中第二材料处理装置可连接到所述第二致动器，其中所述第二致动器连接到所述第一致动器，并且其中所述第一致动器被配置为移动所述第二致动器。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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