[实用新型]一种烘干装置有效
| 申请号： | 201720470564.0 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN206684474U | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | 余海;张心杰;赵武;胡文斌 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司11274 | 代理人： | 李桦 |
| 地址： | 230011 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种烘干装置，涉及光刻胶烘干设备技术领域，为解决在现有烘干装置的烘箱与箱盖之间密封不严的问题而发明。本实用新型提供了一种烘干装置，包括烘箱和箱盖，所述烘箱上开设有开口，所述箱盖可盖合在所述烘箱位于所述开口处的端面上，还包括压紧机构，所述压紧机构包括压头，所述压头与所述端面的位置相对，所述压紧机构可通过所述压头向所述箱盖施加压力。本实用新型可用于光刻胶的烘干。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 烘干 装置 | ||
【主权项】：
一种烘干装置，包括烘箱和箱盖，所述烘箱上开设有开口，所述箱盖可盖合在所述烘箱位于所述开口处的端面上，其特征在于，还包括压紧机构，所述压紧机构包括压头，所述压头与所述端面的位置相对，所述压紧机构可通过所述压头向所述箱盖施加压力。
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