[实用新型]一种用于半导体抛光液制作的成套设备

摘要

本实用新型提供了一种用于半导体抛光液制作的成套设备，属于抛光技术领域。本用于半导体抛光液制作的成套设备，包括搅拌箱、超声波粉碎仪和成品收集箱，搅拌箱上固定有搅拌电机，搅拌电机连接有搅拌轴，搅拌轴固定有安装环一和安装环二，安装环一固定有搅拌组件一，安装环二固定有搅拌组件二；搅拌箱连通有连接管一，连接管一与超声波粉碎仪相连通，连接管一上设置有液泵一，超声波粉碎仪和成品收集箱通过连接管二相连通，连接管二上连通有循环管，循环管与搅拌箱相连通，循环管上设置有液泵二和阀门一，连接管二上设有阀门二，成品收集箱上连通有出液管。本实用新型在半导体抛光液制作过程中具有能够进行搅拌、粉碎和循环处理的优点。

主权项

一种用于半导体抛光液制作的成套设备，包括搅拌箱、超声波粉碎仪和成品收集箱，其特征在于，所述的搅拌箱具有空腔，搅拌箱开设有加液口和加料口，加液口上螺纹连接有盖体一，加料口上螺纹连接有盖体二，搅拌箱外顶壁上固定有搅拌电机，搅拌电机的输出轴竖直向下，搅拌电机输出轴穿设在搅拌箱空腔内，搅拌电机输出轴与搅拌箱顶板之间设有轴承，搅拌电机输出轴通过联轴器连接有搅拌轴，搅拌轴上固定有安装环一和安装环二，安装环一位于安装环二的正上方，安装环一上固定有搅拌组件一，安装环二上固定有搅拌组件二；搅拌箱下端连接有与搅拌箱空腔相连通的连接管一，连接管一的另一端与超声波粉碎仪相连通，所述的连接管一上设置有液泵一，超声波粉碎仪和成品收集箱通过连接管二相连通，所述的连接管二上连通有循环管，循环管的另一端连接在搅拌箱的上端，且循环管与搅拌箱空腔相连通，循环管上设置有液泵二和阀门一，阀门一位于液泵二与搅拌箱之间，所述的连接管二上设置有阀门二，阀门二位于成品收集箱与循环管之间，成品收集箱上连通有出液管。