[实用新型]一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀

摘要

本实用新型涉及一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀。该超薄插板阀的整体厚度小于8mm；包括阀安装件、阀体机构和直线导入器；阀安装件为板状，中部开设有通孔，一侧面设有一对导轨；阀体机构包括阀板，阀板的中部开设有阀孔，上端活动连接着直线导入器；工作时，阀体机构在直线导入器的作用下，沿一对导轨实现上下移动；当阀体机构上移至上止点，使阀孔和通孔重合贯通时，超高真空超薄插板阀为打开状态；当阀体机构下移至下止点，使阀孔和通孔完全不贯通时，超高真空超薄插板阀为关闭状态。本实用新型在不增加样品与电离点距离的情况下，实现了质谱探测器与束源室之间的快速隔离，提升了换样效率，提高了运行精度及稳定性。

主权项

一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀，其特征在于：所述超高真空超薄插板阀的整体厚度小于8mm；包括阀安装件、阀体机构和直线导入器；所述阀安装件为板状，中部开设有通孔，周边均布法兰孔，阀安装件的一侧面设有一对导轨，一对导轨对称位于通孔的两侧；所述阀体机构包括活动铰链、导向连接件和阀板，所述阀板的中部开设有阀孔，阀板的上端通过活动铰链连接着直线导入器的伸缩杆；阀板通过导向连接件与一对导轨上的导向槽的配合设于阀安装件上；所述直线导入器位于阀安装件外侧的上部；阀板的上下移动由直线导入器通过活动铰链驱动；工作时，所述阀体机构在直线导入器的作用下，沿一对导轨实现上下移动；当阀体机构中的导向连接件上移至导向槽中的上止点，使阀孔和通孔重合贯通时，所述超高真空超薄插板阀为打开状态；当阀体机构中的导向连接件下移至导向槽中的下止点，使阀孔和通孔完全不贯通时，所述超高真空超薄插板阀为关闭状态。