[实用新型]一种应用光谱仪来量测电浆气体解离状态的量测装置有效
| 申请号： | 201720482868.9 | 申请日： | 2017-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN207300868U | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 潘瑞宝 | 申请（专利权）人： | 富兰登科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司11401 | 代理人： | 巴晓艳 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型的特点在于提供一种应用光谱仪来量测电浆气体解离状态的量测装置。其原理主要藉由侦测管体内之气体解离状态，并藉由本装置计算出解离相对量值，俾于气体的主路径污染值过高时，由一第二路径适量释出被解离之反应气体，以排除该主路径之污染物，从而使清洁该主路径的作业更为快捷、确实。其中之主路径及结合于该主路径之第二路径供容置反应气体，而该主路径供业界在制造产品时，进行辅助沉积、薄膜蚀刻及改变材料表面等作业，以达到特殊的功能及效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用 光谱仪 来量测电浆 气体 解离 状态 装置 | ||
【主权项】：
一种应用光谱仪来量测电浆气体解离状态的量测装置，其特征在于，包含：一主路径，供半导体积体电路制造时，进行电浆辅助沉积、薄膜蚀刻及改变材料表面；结合于该主路径之第二路径，供容置反应气体；侦测件及光谱仪量测气体解离状态装置，设于主路径与第二路径之间，藉由该侦测件侦测管体内之气体解离状态，并由光谱仪量测气体解离状态装置计算出解离相对量值。
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