[实用新型]一种中心圈有效
申请号: | 201720486981.4 | 申请日: | 2017-05-04 |
公开(公告)号: | CN206929394U | 公开(公告)日: | 2018-01-26 |
发明(设计)人: | 袁鹏华;潘无忌;许文泽;李炯;刘东升;朱骏;张旭升 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | F16K17/04 | 分类号: | F16K17/04 |
代理公司: | 上海申新律师事务所31272 | 代理人: | 俞涤炯 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种限流装置,尤其涉及一种中心圈。一种中心圈,包括O型环,设于O型环内的内圈,底部基座,底部基座是从内圈的内侧下边缘向中心延伸并且与内圈呈“L”型的结构,固定片,固定片固定于底部基座上;活动片,活动片的部分形状与固定片的部分形状相匹配以彼此接合,且活动片可活动地设置于底部基座上;弹性机构,弹性机构连接固定片和活动片,以控制活动片的打开或盖合。本实用新型的中心圈应用于真空管路,当中心圈两侧的气压差比较大时,使得中心圈闭合,通过活动片与固定片之间的缝隙限制气体流量。随着中心圈两侧的压力差的缩小,在弹性机构的作用下打开活动片。避免干泵报警引起的制品报废风险和机台正常运行时间的损失。 | ||
搜索关键词: | 一种 中心 | ||
【主权项】:
一种中心圈,应用于机台真空系统,所述中心圈包括O型环,设于O型环内的内圈,其特征在于,还包括:底部基座,所述底部基座是从所述内圈的内侧下边缘向中心延伸并且与内圈呈“L”型的结构,固定片,所述固定片固定于所述底部基座上;活动片,所述活动片的部分形状与所述固定片的部分形状相匹配以彼此接合,且所述活动片可活动地设置于所述底部基座上;弹性机构,所述弹性机构连接所述固定片和活动片,以控制所述活动片的打开或盖合。
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