[实用新型]一种研磨液供应装置

摘要

本实用新型涉及半导体的制造领域，特别是一种研磨液供应装置。其包括盛液桶；导管，导管上设有泵体、液位检测器和第一阀体；溢流液管，一端管接液位检测器，另一端管接溢流液桶；导回管，其上设有第二阀体；导回支管，一端管接溢流液桶，另一端管接导回管中段；盛液桶、导管、溢流液管、导回管、导回支管均设于壳体内，壳体包括框架和蒙皮，盛液桶和泵体与框架固定连接。本实用新型的有益效果是本装置体积小；由于采用全封闭的壳体，大大提高了装置的密封性，防止与环境交互，造成环境污染；圆柱桶身内无死角，使研磨液不易造成结晶；避免了在需要停止供液时的瞬间造成溢流，减少了研磨液的浪费。

主权项

一种研磨液供应装置，其特征在于，包括：一盛液桶，其为圆柱体，顶部设有加液口和用于对研磨液进行搅拌的电机；底部为出液口.一导管，一端管接所述盛液桶，另一端接出液口，所述导管上设有泵体、液位检测器和第一阀体，且所述第一阀体设置在靠近所述出液口的一端；一溢流液管，一端管接所述液位检测器，另一端管接溢流液桶；一导回管，一端管接所述盛液桶，另一端管接所述导管的泵体与出液口之间的位置，且其上设有第二阀体；一导回支管，一端管接所述溢流液桶，另一端管接所述导回管中段；所述盛液桶、导管、溢流液管、导回管、导回支管均设于壳体内，所述壳体包括框架和蒙皮，所述盛液桶和所述泵体与框架固定连接。