[实用新型]曝光机基板对位装置有效
| 申请号： | 201720492503.4 | 申请日： | 2017-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN206741200U | 公开（公告）日： | 2017-12-12 |
| 发明（设计）人： | 余燕青 | 申请（专利权）人： | 东莞市友辉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 东莞市创益专利事务所44249 | 代理人： | 李卫平 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及显示面板的制作技术领域，尤其是涉及曝光机基板对位装置，该装置具有上料部、初整列部、对位校准部以及连接上料部、初整列部和对位校准部的机械手；初整列部基于靠边整列基板；对位校准部是一个X/Y/θ调节平台，对位校准部上具有围绕校准部中心分布且分区控制的顶针及真空吸气槽。本实用新型通过机械手搬运基板到初整列部，实现对基板四边纠偏调整，以便机械手将基板移到对位校准部上时，基板的中心与对位校准部上的中心基本一致，使基板对角边缘落在对位校准部视野内，控制对位校准部中的X/Y/θ方向电机，实现两个靶标的精准对位，这种对位方法适合多种尺寸的基板对位使用；结构简单，使用及维护简便，符合产业利用。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 机基板 对位 装置 | ||
【主权项】：
曝光机基板对位装置，其特征在于：该装置具有上料部（1）、初整列部（2）、对位校准部（3）以及连接上料部（1）、初整列部（2）和对位校准部（3）的机械手（4）；所述初整列部（2）用于靠边整列基板；所述对位校准部（3）是一个X/Y/θ调节平台，对位校准部（3）上具有围绕对位校准部（3）中心分布且分区控制的顶针（31）及真空吸气槽（32）。
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