[实用新型]一种制绒槽

摘要

本实用新型公开了一种制绒槽，包括槽体和循环泵，槽体分别设有连通其内腔和其外部的出液口和进液口，循环泵置于槽体外部，出液口、循环泵以及进液口经循环管路依次连通以循环药液，槽体内腔的出口处还设有可开启式盖板，进液口设于盖板上，通过在槽体内腔的出口处设置盖板，将进液口设在盖板上，进液口同时向其四周喷洒药液，药液循环系统的喷射范围更大，药液喷洒更加均匀，硅片在槽体内均匀反应。

主权项

一种制绒槽，包括槽体和循环泵，所述槽体分别设有连通其内腔和其外部的出液口和进液口，所述循环泵置于所述槽体外部，所述出液口、所述循环泵以及所述进液口经循环管路依次连通以循环药液，其特征在于，所述槽体内腔的出口处还设有可开启式盖板，所述进液口设于所述盖板上。