[实用新型]一种用于电子产品制造的晶圆研磨设备

摘要

本实用新型涉及一种研磨设备，尤其涉及一种用于电子产品制造的晶圆研磨设备。本实用新型要解决的技术问题是提供一种操作简单，能够同时研磨不同尺寸的晶圆，研磨效率高的用于电子产品制造的晶圆研磨设备。为了解决上述技术问题，本实用新型提供了这样一种用于电子产品制造的晶圆研磨设备，包括有底板、左架、顶板、研磨框、研磨片、调节机构等；底板顶部左侧安装有左架，左架顶端连接有顶板，底板顶部右侧安装有旋转机构，旋转机构上连接有研磨框，研磨框底部连接有调节机构，顶板底部中间安装有升降机构，升降机构底部连接有研磨片。本实用新型能将不同的晶圆放置于不同的调节机构中，再进行研磨，达到了操作简单，研磨效率高的效果。

主权项

一种用于电子产品制造的晶圆研磨设备，其特征在于，包括有底板(1)、左架(2)、顶板(3)、研磨框(4)、研磨片(5)、调节机构(6)、升降机构(7)和旋转机构(8)，底板(1)顶部左侧安装有左架(2)，左架(2)顶端连接有顶板(3)，底板(1)顶部右侧安装有旋转机构(8)，旋转机构(8)上连接有研磨框(4)，研磨框(4)底部连接有调节机构(6)，顶板(3)底部中间安装有升降机构(7)，升降机构(7)底部连接有研磨片(5)。