[实用新型]一种研磨石英大晶片的斜角游星轮

摘要

本实用新型提供了一种研磨石英大晶片的斜角游星轮，包括金属基体轮和分别固定设置所述金属基体轮上、下表面的环氧板材片；所述金属基体轮上和所述环氧板材片上分别开设有多个透液孔和多个石英晶片方形限位孔，所述石英晶片方形限位孔的一边与所述金属基体轮直径的夹角均为22°30’。该研磨石英大晶片的斜角游星轮能有效降低石英大晶片研磨过程中造成的各种外观不良，使石英大晶片研磨的合格率提高8%，研磨后的石英大晶片的散差也得到了较好的控制，对上研盘和下研盘的磨损更为均匀，特别是对研盘边沿的磨损更适用。该装置还具有结构简单，使用方便快捷等优点。

主权项

一种研磨石英大晶片的斜角游星轮，其特征在于：它包括金属基体轮，所述金属基体轮的上表面和下表面分别固定设置有环氧板材片；所述金属基体轮的外周面固定设置有多个轮齿，所述金属基体轮上分别开设有第一中心孔、多个第一透液孔和多个第一石英晶片方形限位孔，多个所述第一透液孔和多个所述第一石英晶片方形限位孔围绕所述第一中心孔均匀排列在所述金属基体轮上，多个所述第一透液孔和多个所述第一石英晶片方形限位孔间隔设置，每个所述第一石英晶片方形限位孔的一边与所述金属基体轮直径的夹角均为22°30’，所述环氧板材片上分别开设有第二中心孔、多个第二透液孔和多个第二石英晶片方形限位孔，多个所述第二透液孔和多个所述第二石英晶片方形限位孔围绕所述第二中心孔均匀排列在所述环氧板材片上，多个所述第二透液孔和多个所述第二石英晶片方形限位孔间隔设置，每个所述第二石英晶片方形限位孔的一边与所述环氧板材片直径的夹角为22°30’，所述第一中心孔与所述第二中心孔对应，所述第一透液孔和所述第二透液孔一一对应，所述第一石英晶片方形限位孔和所述第二石英晶片方形限位孔一一对应。