[实用新型]一种便于更换的离子源连接结构

摘要

本实用新型公开一种便于更换的离子源连接结构，包括离子源、法兰盘和质谱室，离子源焊接在法兰盘上，离子源从质谱室一侧的开口处伸入到质谱室内，通过真空密封法兰将法兰盘与质谱室固定连接，便于更换，提高使用便利性；离子源设有基座，基座上依序设有散热装置及电弧室，述电弧室底板连接有进气管；所述散热装置的散热本体顶面全平面地贴平于电弧室底板的底面，散热装置提供更大接触面积来提高热传导效率，再配合冷却媒管内的流动冷却媒介，快速将散热本体的热带离，使整体散热效率更佳；且由于散热装置主要全平面贴平于电弧室底板的底面，纵使底板在高温运作下不易受热变形，提高离子源的品质。

主权项

一种便于更换的离子源连接结构，其特征在于：包括离子源、法兰盘和质谱室，所述离子源焊接在法兰盘上，离子源从所述质谱室一侧的开口处伸入到质谱室内，通过真空密封法兰将法兰盘与质谱室固定连接，所述法兰盘与质谱室之间设置有弹性密封圈；其中，所述离子源设有基座，所述基座上依序设有散热装置及电弧室，所述电弧室底板连接有进气管；所述散热装置设有散热本体和至少一冷却媒介管，散热本体的底面设置于基座顶面，散热本体的顶面全平面地贴平于电弧室底板的底面，散热本体对应进气管的一侧面向内凹设有贯穿其顶面及其底面的凹槽；所述冷却媒介管穿经散热本体，并自散热本体底面向下穿出两支管，各冷却媒介管通过两支管填充有流动的冷却媒介。