[实用新型]基于超磁致伸缩效应的十字微悬桥光纤磁场传感探头有效

专利信息
申请号: 201720523242.8 申请日: 2017-05-05
公开(公告)号: CN206975197U 公开(公告)日: 2018-02-06
发明(设计)人: 施阳阳;刘月明;韩晓红 申请(专利权)人: 中国计量大学
主分类号: G01R33/032 分类号: G01R33/032
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 310018 浙江省杭州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型是一种基于超磁致伸缩效应的十字微悬光纤桥磁场传感探头,属于光纤传感器技术领域。结构包括光纤、固支端、十字微悬桥、中间反射体、法布里‑珀罗谐振腔、铬金属膜和超磁致伸缩薄膜。十字微悬桥位于光纤端面,通过固支端与光纤连接,十字微悬桥与光纤端面构成法布里‑珀罗谐振腔,十字微悬桥外表面依次镀铬金属膜和超磁致伸缩膜。本实用新型采用法布里‑珀罗谐振腔结构可以达到高精度检测磁场的需要,十字微悬桥能有效保持法布里‑珀罗谐振腔两个极板平行,增加量程。
搜索关键词: 基于 超磁致 伸缩 效应 十字 微悬桥 光纤 磁场 传感 探头
【主权项】:
一种基于超磁致伸缩效应的十字微悬桥光纤磁场传感探头,包括:光纤,对称固支端,具有中间反射体的十字微悬桥,铬金属膜,超磁致伸缩薄膜,其特征是具有中间反射体的十字微悬桥位于光纤端面,十字微悬桥长度为95μm‑105μm,其中中间反射体长为30μm‑40μm,宽为30μm‑40μm,微悬桥厚度为3μm‑5μm,四个对称固支端长度为10μm‑15μm,宽度与十字微悬桥的宽度相同,为15μm‑25μm,十字微悬桥与光纤端面通过四个对称固支端连接,并且构成法布里‑珀罗谐振腔,形成光纤一体化结构。
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