[实用新型]一种真空压力控制和测量装置

摘要

本实用新型属于真空镀膜技术领域，一种真空压力控制和测量装置，该装置中，反应腔室与真空泵组增压泵连通，真空泵组增压泵前端与真空泵组前级泵连通，反应腔室分别与大量程真空计和小量程真空计连接。装置启动工作时，真空泵组前级泵常压下首先启动，大量程真空计测量到腔室内压力小于真空泵组增压泵启动压力后，启动真空泵组增压泵抽气使反应腔室内压力继续下降；当大量程真空计测量出腔室内压力下降到小量程真空计量程范围后，阀门打开，连通反应腔室和小量程真空计，将采用小量程真空计进行测量并以此作为镀膜工艺压力测量值。本实用新型通过大量程真空计可自动控制真空泵组增压泵启动，且通过小量程真空计可以精确测控镀膜工艺的真空压力。

主权项

一种真空压力控制和测量装置，其特征是：该装置包括反应腔室(1)，所述反应腔室与真空泵组增压泵(3)连通，所述真空泵组增压泵前端与真空泵组前级泵连通(2)；所述反应腔室分别与大量程真空计(4)和小量程真空计(5)连接；所述反应腔室与小量程真空计之间设置有阀门(6)。