[实用新型]一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头

摘要

本实用新型公开了一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头，主要由前端主体(1)，通过连接体(2)连接在前端主体(1)上的后端主体(3)，以及设置在前端主体(1)上的晶振盒组成。本实用新型的晶振盒在驱动装置的带动下能不断的变换位于检测孔的晶振片，使位于检测孔的晶振片的振荡频率都在基准频率范围内，有效的确保了本实用新型对蒸发器蒸发量检测的准确性，从而有效的确保了基片镀膜厚度的准确性、均匀度，有效的提高了基片镀膜厚度的质量。

主权项

一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头，主要由前端主体(1)，通过连接体(2)连接在前端主体(1)上的后端主体(3)，以及设置在前端主体(1)上的晶振盒组成；其特征在于，在连接体(2)上设置有驱动电机(8)；所述晶振盒包括承载体(5)，设置在承载体(5)上的检测组件，以及与检测组件相连接的信号传输组件；所述驱动电机(8)的转轴与检测组件相连接。