[实用新型]一种晶圆储存装置

摘要

本实用新型涉及一种晶圆储存装置，包括竖直放置的箱体，所述箱体呈长方体状，所述箱体的前侧设置有可启闭的门体，箱体的左右壁内侧从上至下对应间隔设置有多个凹槽，箱体内从上至下可平行间隔放置多个晶圆，后壁内侧及门体内侧从上至下对应间隔设置有多个塑料弹片。优点为，置入箱体内的每个晶圆通过左右壁内侧对应设置的凹槽在左右方向上得到固定，同时后壁内侧及门体内侧上对应设置的塑料弹片在前后方向上使晶圆得到固定，而且无论是凹槽还是塑料弹性均在上下方向对晶圆进行了固定，晶圆在箱体内的自由度较低，因此当箱体出现抖动、倾斜或翻转等意外情况时，其内的晶圆不会因自由度大而受损伤。

主权项

一种晶圆储存装置，其特征在于，包括竖直放置的箱体(1)，所述箱体(1)呈长方体状，所述箱体(1)的前侧设置有可启闭的门体(2)，所述箱体(1)的左右壁内侧从上至下对应间隔设置有多个凹槽(3)，所述左右壁内侧每一对对应的所述凹槽(3)可从左右方向卡住一个水平置入所述箱体(1)的晶圆，所述箱体(1)内从上至下可平行间隔放置多个晶圆，所述箱体(1)后壁的内侧及门体(2)的内侧从上至下对应间隔设置有多个塑料弹片(4)，所述后壁内侧及门体(2)内侧上对应的所述塑料弹片(4)从前后方向卡住水平置入所述箱体(1)内的一个晶圆。