[实用新型]一种高纯化学品容器清洗控制系统有效
申请号: | 201720555428.1 | 申请日: | 2017-05-18 |
公开(公告)号: | CN206794308U | 公开(公告)日: | 2017-12-26 |
发明(设计)人: | 朱永刚;殷福华;丁磊 | 申请(专利权)人: | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B08B9/093 | 分类号: | B08B9/093 |
代理公司: | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙)32247 | 代理人: | 杜兴 |
地址: | 214400 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种高纯化学品容器清洗控制系统,其特征在于,包括电源模块、数据采集模块、人机交互模块、控制模块和执行模块。该高纯化学品容器清洗控制系统稳定可靠,通过设置依据经验设定各步骤清洗时长的人机交互模块和采集电磁阀启停时长信号的数据采集模块,使高纯化学品容器实现多道清洗液依次自动清洗。 | ||
搜索关键词: | 一种 高纯 化学品 容器 清洗 控制系统 | ||
【主权项】:
一种高纯化学品容器清洗控制系统,其特征在于,包括电源模块、数据采集模块、人机交互模块、控制模块和执行模块;电源模块为高纯化学品容器清洗控制系统提供电源;数据采集模块用于采集与清洗喷头相连通的各进液管进液阀启停时长,并向控制模块传输进液阀启停时长信号;人机交互模块用于输入各清洗液的清洗时长和清洗液切换的间隔时长,并将清洗时长信号和间隔时长信号传输给控制模块;控制模块接收和处理人机交互模块的清洗时长信号和间隔时长信号并存储清洗时长阈值和间隔时长阈值,控制模块接收进液阀启停时长信号并与清洗时长阈值和间隔时长阈值进行对比得到对比信号,然后向执行模块传输对比信号;执行模块接收对比信号,控制与清洗喷头相连通的各进液管进液阀的启停和清洗装置各出液管出液阀的启停。
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