[实用新型]一种无液滴多弧蒸发离化源结构有效
| 申请号： | 201720557136.1 | 申请日： | 2017-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN206858648U | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 罗志明;李志荣;杨武保 | 申请（专利权）人： | 东莞市汇成真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司44104 | 代理人： | 周克佑 |
| 地址： | 523838 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种无液滴多弧蒸发离化源结构，其离化源包括靶材，靶材具有产生靶材蒸发粒子的蒸发放电表面，蒸发放电表面的前方、靶材蒸发粒子通过的路径上，设有加热器，加热器设有可以让靶材蒸发粒子穿过的加热空间，加热空间平行于蒸发放电表面的横截面覆盖了蒸发放电表面、且其与靶材的蒸发放电表面之间的间距为5～30cm、加热温度范围为500～3000℃。本实用新型有效消除了多弧蒸发离化源产生的液滴，实现了膜层细致化和膜层致密性达标。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无液滴多弧 蒸发 离化源 结构 | ||
【主权项】：
一种无液滴多弧蒸发离化源结构，所述离化源包括靶材，所述靶材具有产生靶材蒸发粒子的蒸发放电表面，其特征在于：所述蒸发放电表面的前方、靶材蒸发粒子通过的路径上，设有加热器，所述加热器设有可以让靶材蒸发粒子穿过的加热空间，所述的加热空间平行于蒸发放电表面的横截面覆盖了所述蒸发放电表面、且其与所述靶材的蒸发放电表面之间的间距为5～30cm、加热温度范围为500～3000℃。
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