[实用新型]一种真空涂覆机沉积室有效
| 申请号： | 201720559995.4 | 申请日： | 2017-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN206911675U | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 陈王 | 申请（专利权）人： | 重庆正峰电子有限公司 |
| 主分类号： | B05C19/04 | 分类号： | B05C19/04 |
| 代理公司： | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司11385 | 代理人： | 董芙蓉 |
| 地址： | 402660 重庆市潼*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空涂覆机沉积室，包括密封的沉积室本体，沉积室本体包括第一侧壁和水冷套，水冷套的一端和第一侧壁的一端相连，水冷套的另一端和第一侧壁的另一端相连；水冷套的冷却水出口依次和冷却水池、水泵、制冷机、水冷套的冷却水进口连通；水冷套上和第一侧壁相对的一侧设有派瑞林N粉进口，沉积室本体的底部设有派瑞林N粉出口。本实用新型通过水冷套为沉积室降温，水冷套内的冷却水通过冷却水池和制冷机降温，可以通过控制制冷机和水泵的工作效率控制冷却水的温度，使沉积室保持的指定的温度范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 涂覆机 沉积 | ||
【主权项】：
一种真空涂覆机沉积室，其特征在于，包括密封的沉积室本体，沉积室本体包括第一侧壁(14)和水冷套(13)，水冷套(13)的一端和第一侧壁(14)的一端相连，水冷套(13)的另一端和第一侧壁(14)的另一端相连；水冷套(13)的冷却水出口依次和冷却水池(1)、水泵(3)、制冷机(4)、水冷套(13)的冷却水进口连通；水冷套(13)上和第一侧壁(14)相对的一侧设有派瑞林N粉进口(11)，沉积室本体的底部设有派瑞林N粉出口(12)。
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