[实用新型]石英舟冷却柜

摘要

本实用新型涉及一种石英舟冷却柜，在使用前，在气管接口处接入氮气泵，将装满硅片的石英舟放置于冷却柜中的隔板上，关闭柜门后运行设备，风机启动，向进风腔室内吸风，进入进风腔室的气体经风机后进入存风腔室，存风腔室内的气流由吹风口进入冷却腔室，气流经过硅片，带走硅片热量，由顶部排风口排出；在进风口设有初效过滤，吹风口设有高效过滤，确保送风清洁。柜体装有压差表，用于观察冷却腔室内的压力，在冷却腔室负压时，向冷却腔室内充入氮气，使冷却腔室保持正压；本实用新型缩短了硅片降温时间，提供了硅片缓存空间，减少了硅片降温时所受的污染，减少了不良片的产生。

主权项

一种石英舟冷却柜，其特征在于：包括柜体(1)，所述柜体(1)包括进风腔室(2)、存风腔室(3)和冷却腔室(4)，所述进风腔室(2)上开设有进风口(5)，所述进风口(5)内固定安装有初效过滤器(6)，所述进风腔室(2)内安装有风机(7)，所述风机(7)的出气口与所述存风腔室(3)连通，所述存风腔室(3)与所述冷却腔室(4)平行设置，所述存风腔室(3)与所述冷却腔室(4)之间开设有吹风口(8)，所述吹风口(8)内固定安装有高效过滤器(9)，所述冷却腔室(4)的上方开设有排风口(10)，所述冷却腔室(4)上开设有若干气管接口(11)，所述冷却腔室(4)内设置有压差表。