[实用新型]分割型靶材及其模具有效
| 申请号： | 201720571392.6 | 申请日： | 2017-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN207176062U | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | 董波;张惟诚;易志根;邢志民;戴超 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210033 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种分割型靶材，包括相互连接的至少两个靶材组件，每个靶材组件均设有连接部，两个靶材组件中的一个靶材组件的连接部设有凸部，另一个靶材组件的连接部设有凹部，两个靶材组件通过凹凸配合连接在一起。凸部的截面形状可以相同也可以不相同，截面形状为矩形、梯形或圆弧形。本实用新型的分割型靶材，其结构简单并具有普适性，通过改变靶材分割部位的连接方式，从而在减小连接间隙的同时增加原子流出路径，达到减少底部粘结材原子和背板原子流出、避免基板不平的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 分割 型靶材 及其 模具 | ||
【主权项】：
一种分割型靶材，包括相互连接的至少两个靶材组件，其特征在于，每个所述靶材组件均设有连接部，两个靶材组件中的一个靶材组件的连接部设有凸部，另一个靶材组件的连接部设有凹部，两个靶材组件通过凹凸配合连接在一起。
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