[实用新型]一种张网装置有效
申请号: | 201720578738.5 | 申请日: | 2017-05-23 |
公开(公告)号: | CN206711923U | 公开(公告)日: | 2017-12-05 |
发明(设计)人: | 郭登俊;靳福江;张健;孙朴;张德 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;C23C14/24 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人: | 许静,刘伟 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种张网装置,用于安装蒸镀设备中的辅助掩模版,所述蒸镀设备包括中部具有开口区域的边框;具有掩模图案的蒸镀掩模版,设置在所述边框的开口区域;用于辅助所述蒸镀掩模版的张网,所述辅助掩模版设置在所述边框的开口区域,并位于所述蒸镀掩模版与所述边框之间;所述张网装置包括用于设置在所述边框外侧,在安装辅助掩模版时,对待安装辅助掩模版与所述边框进行对位的对位机构。本实用新型所提供的张网装置,通过设置对位机构,能够在安装或修复辅助掩模版时,将辅助掩模版与边框进行初步对位,以将待安装的辅助掩模版准确地放到边框上,便于辅助掩模版的安装定位,便于操作。 | ||
搜索关键词: | 一种 装置 | ||
【主权项】:
一种张网装置,用于安装蒸镀设备中的辅助掩模版,所述蒸镀设备包括:中部具有开口区域的边框;具有掩模图案的蒸镀掩模版,设置在所述边框的开口区域;及,用于辅助所述蒸镀掩模版的所述辅助掩模版,所述辅助掩模版设置在所述边框的开口区域,并位于所述蒸镀掩模版与所述边框之间;其特征在于,所述张网装置包括:用于承载所述边框的承载台;及,设置在所述承载台外侧,用于在安装辅助掩模版时,对待安装辅助掩模版与所述边框进行对位的对位机构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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