[实用新型]一种扩散石英源瓶

摘要

本实用新型涉及一种扩散石英源瓶，属于太阳能技术领域，其包括储存磷源的源瓶本体，所述源瓶本体的顶部连接有进气管和出气管，所述源瓶本体内设置有液位检测机构；所述进气管伸入磷源液面的下方，所述出气管置于所述磷源液面的上方；所述源瓶内设有伸入所述磷源液面下方的气囊，所述气囊连接有供气机构；及控制器，所述控制器分别与所述供气机构和所述液位检测机构电连接。本实用新型通过液位检测机构将检测到的变化的液位信号传送给控制器，控制器控制供气机构为气囊供气使得源瓶本体的液面始终保持原始液位，这样在保证了气体携磷量不变的情况下，同时保证了磷源的有效利用，避免了磷源浪费的情况，增加了磷源扩散的稳定性。

主权项

一种扩散石英源瓶，其特征在于，包括储存磷源的源瓶本体(1)，所述源瓶本体(1)的顶部连接有进气管(2)和出气管(3)，所述进气管(2)伸入磷源液面的下方，所述出气管(3)置于所述磷源液面上方；所述源瓶本体(1)内设置有液位检测机构(4)；所述源瓶本体(1)内设有伸入所述磷源液面下方的气囊(5)，所述气囊(5)连接有供气机构；及控制器，所述控制器分别与所述供气机构和所述液位检测机构(4)电连接。